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CT‑16K500UV100CoF 相机与PCIe3004 CoaXPress Over Fiber 采集卡

Created on:2026-09-28 15:51

CT-16K500UV100CoF 相机与PCIe3004 CoaXPress Over Fiber 采集卡

 

CT-16K500UV100CoF 是一款基于背照式/紫外增强 TDI 线阵传感器的高性能科学级相机,具备 16384(16K)像素线阵分辨率、最高 500 kHz 行频、P1 最高 256 级 / P2 最高 32 级时间延迟积分(TDI),并支持双阵列 HDR 与 TEC 制冷,广泛应用于晶圆/半导体检测、平板显示检测、PCB 检测、紫外荧光与光谱分析等高速高精度在线检测场景。

在使用该相机进行测控时,往往需要实时采集图像并进行高速、低延迟的图像处理。相机采用 CoaXPress-over-Fiber(CoF)光纤接口,单链路带宽达 100 Gbps,电磁兼容性佳、传输距离几乎不受限,能够充分承载 16K@500kHz 的高速数据流。相机遵循 GenICam/GenApi 标准,可通过属性树客户端即插即用、全功能适配。

图1:CT-16K500UV100CoF 相机与 3004 CoF 采集卡实物图

 

 

 

 

 

 

相机介绍

1.核心规格

参数

规格

传感器类型

TDI 线阵 CMOS(背照式 / 紫外增强)

有效像素

16384(16K)线阵

像素尺寸

5 μm × 5 μm(参考同类传感器)

TDI 级数

P1:32/64/128/192/224/252/256 级;P2:2/4/8/16/24/28/30/32 级

最高行频

500 kHz

像素位深

Mono12

扫描方向

正向 / 反向(双向 TDI,独立校正)

动态范围

支持双阵列(P1+P2)HDR

数据接口

CoaXPress-over-Fiber(100 Gbps)

制冷方式

TEC 半导体制冷(目标 20~40 ℃ 可调)+ 风扇

图像校正

FPN / PRNU / DSNU / DPC / OBC / LE / LUT

工作模式

TDI_Mode / Area_Mode;LineScan / AreaScan

 

  1. 核心特性

高灵敏弱光成像:TDI 最多 256 级时间延迟积分 + TEC 制冷降噪,信噪比极高。

紫外增强:背照式传感器在紫外波段具有高量子效率,可识别可见光下难辨的划痕、污点与不均。

高动态范围:P1(高灵敏)+ P2(低灵敏)双阵列数据融合,扩展动态范围。

计量级图像质量:FPN/PRNU/DSNU/DPC/OBC/LE/LUT 多重校正,正反向独立标定。

严格同步扫描:丰富触发源、倍频/分频、外部方向与门控控制,可与运动/编码器同步。

3.工作模式

TDI_Mode:时间延迟积分模式,弱光高速扫描成像(默认)。

Area_Mode:普通线阵模式。

DeviceScanType 支持 LineScan / AreaScan 切换;TDIScanDirection 支持 Forward / Backward 双向扫描。

4.软件与接口

相机支持 GenICam 标准接口,配套 XML 描述文件可被主流机器视觉软件/属性树客户端识别。GenICam 接口覆盖设备控制、图像格式、采集控制、TDI 控制、温度控制、状态监控、LUT 控制、平场校正、数字 I/O、用户参数组、出厂校正与传输层等全功能分类。

5.典型应用

晶圆/半导体检测、平板显示(FPD)检测、PCB 检测、电池极片检测、紫外荧光/光谱分析、高性能文档/胶片扫描、显微与计量。

测试准备与采图方法

相机上电、光纤链路连接正常后,在属性树客户端中识别相机(DeviceModelName 可读)。先按默认基线配置采集一组基准图,后续所有"亮度/均匀性/方向"对比均以基线为参照;每次只改一个变量,采图对比。

基线默认配置如下表:

 

 

参数

默认值

DeviceScanType

LineScan

Width / Height / OffsetX

4096 / 32 / 0

PixelFormat

Mono12

CameraMode

TDI_Mode

Binning

Binning_4x2

AnalogGain / DigitalGain / BlackLevel

x1 / 1 / 0

AcquisitionLineRate / FrameRate

500 kHz / 10 Hz

ExposureTime

10000 us

TriggerMode / Source / Activation

Off(建议On) / RS422 / RisingEdge

TriggerGlitch/Debouncer/Delay/Timeout

25ns / 1000ns / 0 / 100us

TriggerLatch / RescalerSamples

On / Samples_0

TDIScanDirection / ScanDirectionSource

Forward / Internal

InvalidLinesMaskEnable / MaskInvalidLines

On / 32

 

打开采集软件,选中相机并连接,点击采集按钮即可采图,界面如下图所示。

图2:采集软件连接与采图界面

按基线配置采集的默认图像如下图所示。

图3:基线默认配置采集图像

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

相机功能测试

图像格式与 ROI(ImageFormatControl)

相机默认宽高(Width=4096、Height=32)图像采集如下图所示。

图4:默认宽高采集

将宽高调整为其他值(如 Width=4096、Height=32/64),设置并采集成功,图像尺寸与设定一致。

图5:修改 Width/Height 后采集

 

图6:PixelFormat 为 Mono12

 

 

 

 

 

 

 

CameraMode 在 TDI_Mode 与 Area_Mode 间切换:TDI 图明显更亮(多级积分),Area 为单级线阵图。

图7:CameraMode 为 Area_Mode

 

 

 

 

 

 

 

 

BlackLevel 设 0/100/500:图像整体 pedestal 抬升,暗区底值上移。

图8:BlackLevel 抬升后采集

 

ReverseX 设 True/False:两图左右镜像。

图9:ReverseX 镜像对比

 

 

 

 

 

 

 

TestPattern 设各 Ramp(无需镜头):出现对应水平/垂直/对角灰度渐变条纹,用于链路与位深自检。

 

图10:TestPattern 测试图

 

 

 

 

 

 

 

 

 

AlignGridEnable 设 BothOn 并调间距/颜色/偏移:图上叠加对应网格线,用于光学对准。

图11:AlignGrid 网格叠加

 

 

 

 

 

 

 

 

采集与触发(AcquisitionControl)

AcquisitionLineRate 设 100k/300k/500k、AcquisitionFrameRate 无法设置:出图速度与 Status 行率/帧率读数对应。

图12:行频/帧率设置采集

 

ExposureTime 无法设置默认值为10000us。

图13:曝光时间对比

 

 

 

 

 

 

1.软触发

TriggerSource 设 SoftTrigger,设 SoftTriggerNum=100 并执行 SoftTrigger。

图14:软触发采集

2.外部触发(RS422 )

TriggerMode 设 On,TriggerSource 分别设 RS422,对应触发信号:无触发不更新图像,给触发才出图;TriggerActivation 切上升/下降沿在对应边沿响应。

图15:外部触发采集

 

 

 

 

TDI 控制(TDIControl)

TDIStage默认值16,无法更改。

图16:TDI 级数对比

 

TDIScanDirection 设 Forward/Backward:两图垂直方向内容顺序相反。

图17:扫描方向正/反对比

 

ScanDirectionSource 设 External 并改外部电平、ScanDirectionActivation 切高/低有效:方向随外部信号与极性切换;ExternalScanGlitchFilter 注入毛刺方向不误翻转。

图18:外部方向控制

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温度与制冷(TemperatureControl)

ControllerSelector 设 Auto,TecTargetTemperature 设 20/30/40 ℃:SensorAnalogTemperature 收敛到目标值,读数如下图所示。

图19:TEC 目标温度与实时温度读数

 

状态监控(StatusControl)

采集中读取 LineTriggerRate/ValidTriggerRate/SensorTriggerRate/SensorTxLineRate/CXPTxLineRate/CXPTxFrameRate 与各 *Sum 累计:与设定行频/帧率匹配、持续递增,读数如下图所示。

图20:各级速率与累计计数读数